微电子器件测试实验
课程名称: 微电子器件测试实验
英文名称: Microelectronic Device Test Laboratory
课程编号: 04831080
主讲教师: 韩德栋
学分: 1
学时: 28
开课学期: 春季
课程大纲:

基本目的:通过本课程的学习,使学生掌握Keithley Model 82-WIN同步C-V测量仪、手动探针台、Agilent 4156C半导体参数分析仪等微电子测试仪器设备的使用,掌握微电子技术中几种常用而重要的测试原理、测试方法、数据分析及处理方法,掌握集成电路制造技术中几种重要工艺的模拟模型,并利用计算机辅助电路分析(CAA),提取模型参数,优化电路。 

内容提要:本课程包括1次理论大课(4学时)和6次实验(每次4学时)。 

实验1 MOS电容的C-V特性测试 
实验2 MOSFET的输入特性和输出特性测试 
实验3 金属-半导体接触势垒高度的测试 
实验4 芯片剖析 
实验5 四探针法测量半导体电阻率 
实验6 椭圆偏振法测薄膜厚度 

参考教材: 

1.《微电子器件测试实验》,自编教材。 
2.《半导体物理》,叶良修 著,高等教育出版社。 
3.《微电子实验教程》,九院校编写组,东南大学出版社。 

时段信息 人数上限