实验室历程：

　　微电子工艺与器件测试实验室成立于2000年，主要承担微电子学专业本科生和研究生的微电子工艺与器件测试实验教学工作。负责组织北京大学通选课、理工类大类平台课，信息学院专业必修课、专业选修课等实验课程以及相关理论课实验部分的实验教学工作。实验室依托于北京大学微纳电子学科的教学科研力量。主要开展微电子学集成电路工艺实验、半导体材料以及微电子器件测试等方面的实验教学工作。

　　随着半导体行业和微电子工艺技术的快速发展，实验室根据微电子学科前沿的发展，结合半导体行业对人才的需求，积极培养既具有扎实的理论基础又具有实践动手能力的微电子专业创新科技人才。

　　目前，微电子工艺与器件测试实验室有实验教学面积约160平方米，主要包括微电子集成电路工艺与半导体材料及器件测试实验室，每年选课学生100余人。

　　实验室仪器设备

　　微电子工艺与器件测试实验室仪器设备主要光刻机、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（PECVD）、真空蒸发镀膜仪、匀胶机、烘胶机、退火炉等微电子工艺设备以及安捷伦B1500半导体参数测试仪、示波器、探针台、椭偏仪、显微镜等半导体器件测试仪器。可以满足学生学习集成电路基本工艺以及半导体器件测试分析技术的需求。仪器设备的配置达国内先进水平。

　　教学与管理队伍

　　实验室任课教师3人，实验技术工程师1人。

　　开设课程与特色

　　开设课程：目前已开设实验课程包括，本科生必修课“微电子器件测试实验”，本科生选修课“微电子工艺实验”，“微纳电子专业综合实验”等课程。另外还承担理论课的实验教学部分内容，包括“微纳电子实验班”等课程。

　　微电子工艺与器件测试实验室的实验课程建设，旨在培养学生的理论与实践相结合的能力。着重培养学生的实际动手能力、分析问题和解决实际问题的能力以及自主创新能力。在学生具备了集成电路工艺和半导体器件物理理论基础知识以后，对学生进行集成电路工艺与器件测试的实践训练。通过实验课程的学习，深化学生对集成电路工艺及半导体器件物理知识的理解，培养适合半导体行业及集成电路技术发展需求的优秀人才。