用户名 密码
  • 微波技术实验
  • 高级光电子技术实验
  • 电路基础实验
  • 电子线路A实验
  • 电子线路B实验
  • 数字逻辑电路实验
  • 数字逻辑设计实验课(计算机系、智能系)
  • 微机原理实验
  • 微机原理与接口技术
  • 电子线路计算机辅助设计
  • 测量与控制系统
  • 可编程逻辑电路设计
  • 电子系统设计
  • 嵌入式Linux操作系统
  • 数字信号处理实验
  • 通信电路实验
  • 光电子实验
  • 集成电路设计实验
  • 微电子器件测试实验
  • 机器感知实验
  • 全部通知>>>
    发布新闻
    全部新闻>>>
    微电子器件测试实验
     查看时段信息  进入论坛
    课程名称:微电子器件测试实验
    英文名称:Microelectronic Device Test Laboratory
    课程编号:04831080
    主讲教师:韩德栋
    学分:1
    学时:28
    开课学期: 春季
    课程大纲:基本目的:通过本课程的学习,使学生掌握Keithley Model 82-WIN同步C-V测量仪、手动探针台、Agilent 4156C半导体参数分析仪等微电子测试仪器设备的使用,掌握微电子技术中几种常用而重要的测试原理、测试方法、数据分析及处理方法,掌握集成电路制造技术中几种重要工艺的模拟模型,并利用计算机辅助电路分析(CAA),提取模型参数,优化电路。

    内容提要:本课程包括1次理论大课(4学时)和6次实验(每次4学时)。

    实验1 MOS电容的C-V特性测试
    实验2 MOSFET的输入特性和输出特性测试
    实验3 金属-半导体接触势垒高度的测试
    实验4 芯片剖析
    实验5 四探针法测量半导体电阻率
    实验6 椭圆偏振法测薄膜厚度

    参考教材:

    1.《微电子器件测试实验》,自编教材。
    2.《半导体物理》,叶良修 著,高等教育出版社。
    3.《微电子实验教程》,九院校编写组,东南大学出版社。
     
    ------====== 北京大学·电子信息科学基础实验中心 © 2000-2013 ======------
    ..:: http://eelab.pku.edu.cn 版权所有 请勿转载 ::..